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代表者からのご挨拶
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“プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成”を目指した新学術領域がスタートいたしました。
プラズマを用いたナノ材料・ナノ構造の創成は、ULSI作製等のトップダウンプロセス、カーボンナノチューブ作成等のボトムアッププロセスに広く用いられており、ナノ構造創成法として中心的役割を果たすと期待されます。このようなプラズマナノテクノロジーでは,プラズマと材料のナノ界面における相互作用が本質的に重要である。
界面がナノサイズに縮小することにより,相互作用に従来にない次の4つの特徴が顕在化します。

  • 1.ナノ界面では物性がバルク界面と著しく異なることにより,相互作用にサイズ効果が発現する。
  • 2.相互作用の揺らぎが顕著となる。
  • 3.界面の寸法が相互作用長と同等以下になる。
  • 4.ナノ界面がプラズマ反応場に構造を与える。

本領域研究では、界面がナノサイズに縮小することにより顕在化する相互作用の特長に焦点を絞り、究極のナノプロセスの実現に必要不可欠な、プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤を確立します。
本領域の発展は、従来実現できなかった高度なナノ構造の創成を通して、半導体、磁性体、フォトニクス、オプティクス、環境、エネルギー、バイオ、医療等の極めて広範な分野において我が国の学術水準の向上・強化につながります。
個々に発展してきた分野の有機的連携をはかるため

の3つの研究班に分かれて研究を深めかつ統合し、新しいサイエンスを果敢に切り開くことを目的としています。

領域代表者 白谷正治 九州大学・教授


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