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研究内容


【A01班:ナノ界面プラズマを作る】

 プラズマとナノ界面の相互作用を理解し制御して利用するためには、この相互作用が顕著に表れる系を作ることが重要である。この視点からA01班では、集積化マイクロソリューションプラズマ、超臨界クラスタ流体中のプラズマ、固・液・気・超臨界相が混在するプラズマ等を創成してきた。これらの相互作用が顕著に表れる新しいプラズマ生成法の確立は、プラズマとナノ界面の相互作用の理解とその制御方法の開発につながる成果である。また、超臨界クラスタ流体中のプラズマの特長を生かして、5-12次のダイヤモンドイド合成に初めて成功した。  ( 詳細 )


【A02班:ナノ界面プラズマを見る】

 プラズマとナノ界面の相互作用を理解し制御して利用するためには、この相互作用に関係する諸量を計測することが必要不可欠である。この視点からA02班では、プラズマ・固体界面に関係する諸量、プラズマ・液体界面に関係する諸量、プラズマ・生体界面に関係する諸量等に関する計測を中心に研究を推進してきた。A02班の成果は、今後、領域内連携において中心的な役割を果たすと期待される。特に、反応性プラズマ中のナノ粒子の成長に関して、ナノ粒子の数密度をパラメータとして、正帰還、帰還無し、および負帰還の3つの成長領域が存在することを明らかにした。このことは、反応性プラズマ中のナノ粒子生成という限られた系ではあるが、領域の目的のうち、1)揺らぎ(ナノ粒子サイズ分布)決定機構の解明、2)揺らぎを抑制(負帰還)する方法の開発、3)揺らぎを増幅(正帰還)する方法の開発、の達成に見通しが得られたことを意味している。また、プラズマ・液体界面の相互作用に関する実験・モデリングに着実な進展があった。  ( 詳細 )


【A03班:ナノ界面プラズマを使う】

 プラズマとナノ界面の相互作用を理解し応用するためには、この相互作用を有効に活かした応用を発展させることが重要である。この視点からA03班では、ULSI用の次世代ナノ加工技術に関係する応用、超臨界流体プラズマの材料プロセシングおよび物質変換手法への応用、バイオ・医療分野への応用を目的としてナノ粒子創成、プラズマ揺らぎが誘起する多形結晶創成等を推進してきた。次世代ナノ加工技術に関しては、ナノスケールの表面荒れの発生機構に対する理解が進んだ。また、プラズマ・液体界面の相互作用を用いて、プラズマの構造を液体界面に直接転写することや高効率メタノール合成に成功した。  ( 詳細 )




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